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真空炉常用的真空测量方法

发布时间:
2018/09/25 10:56
【摘要】:
一、压缩式真空计压缩式真空计,上接一根顶端封闭的毛细管,下端与“Y”形管的一端口相接,“Y”形管下方接汞储存器,使用时,将真空系统与“Y”形管口相接,转动真空计,是汞压缩气体,再转至垂直位置读取“测量毛细管”与“比毛细管”的液面差,即为所测真空度。压缩真空计优点在于测量的准确性高,可作为真空计量的标准器。他的缺点是使用不够方便,反应缓慢,不能连续测量。由于压缩式真空计是根据气体定律制作的,只能测量

一、压缩式真空计

压缩式真空计,上接一根顶端封闭的毛细管,下端与“Y”形管的一端口相接,“Y”形管下方接汞储存器,使用时,将真空系统与“Y”形管口相接,转动真空计,是汞压缩气体,再转至垂直位置读取“测量毛细管”与“比毛细管”的液面差,即为所测真空度。压缩真空计优点在于测量的准确性高,可作为真空计量的标准器。他的缺点是使用不够方便,反应缓慢,不能连续测量。由于压缩式真空计是根据气体定律制作的,只能测量永久性气体分压强,而不能测量蒸气压。在蒸汽分压较大的真空系统中,压缩式真空计的读数不能标志其真空度。

真空炉(图片源自深圳中达强)

二、热导式真空计

利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制成热导式真空计,电阻真空计和热偶真空计两种。通过电流时温度升高,周期气体被加热,规管管壁温度低,依靠周围存在的气体分子传导热量,电阻丝温度变化,即反应了存在气体分子多少。直接测量电阻丝的温度很不方便,由于电阻丝的电阻值与温度有关,故可用电桥测出其电阻数值。热导式真空计的优点是:1,可测量总压强;2,能连续测量;3,使用方便,可用导线进行远距离测量;4,结构简单,易于制造;其缺点是:1,有热惯性,当压强变化很快时,反应滞后;2,外界温度对测量结果有一定的影响;3.电阻丝表面情况改变,可造成零点漂移,影响准确读数。

真空炉(图片源自深圳中达强)

三、电离真空计

是以气体的电离现象为基础来测量真空度大小的,可分为热阴极电离真空计和磁控放电真空计两类。当在各极加上一定电源时,灯丝处于白炽状态,发出热电子。这些电子与管内气体分子碰撞,使气体电离,产生整离子。证离子为离子收集,形成电流,随着压强的变化,电流也有变化。测量电流的大小,即可测出真空。热阴极电离真空计的优点是:1,可测总压强;2,可连续测量;3,测量范围广,灵敏度很高;4,电离计规管体积小,可直接连通要测位置;5,对机械振动不敏感,惯性小;6,校准曲线是直线性;其缺点是:1,读数与气体种类有关,不同气体要做不同曲线;2,灯丝是白炽状态,真空系统突然漏气或压强突然升高,会使灯丝损坏;3,气体被吸附在阴极和收集表面,易产生测量误差;4,在低压强时,规管外壳与电极放电现象影响读数;

磁控放电真空计也是利用气体放电原理,但在规管中没有热阴极。规管中有两个平行阴极,两个平行板中间有个框型电极。整个规管的电极部分都在磁场之中。由于外加磁场的作用和阳极的框型,容易使电子穿越,造成电子在空间做来回多次的螺旋运动。增加电离的效果,真空计的灵敏度则随之提高。其优点是:1,没有热阴极存在,不会因漏气而损害灯丝;2,测量总压强,可连续测量;3,放电电流大,电路使用仪表简单;4,结构牢固,对外界不敏感;其缺点是:在压强条件下,它的灵敏度不及热阴极电离真空计高,对不同气体也需要不同校准曲线;

陶瓷真空发黑炉(图片源自深圳中达强)

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