一,常用维修方法
首先,按照PLC程序抽低真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运行正常后(大约1-2 min),打开通向炉体的低真空阀即上碟阀,预先对炉体抽低真空。
其次,按照PLC程序抽高真空:打开下碟阀,对扩散泵进行抽气,当真空度达到15 Pa以下后,系统自动开启扩散泵进行预热,一般经过45 min左右扩散泵开始其作用,就可以关闭上碟阀,同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上,才可以开启加热按钮对样品进行加热。
二,保养步骤
1,炉内有灰尘或不干净时,应用乙醇或者汽油浸湿过的绸布擦拭干净,并使其干燥。
2,炉体上的密封结构、真空系统等零件部拆装时,应用乙醇或汽油清洗干净,并经过干燥后涂上真空油脂再组装上。
3,炉子外表应经常擦拭,保持清洁干净。
4,工件,料筐,工件车等需清洗干燥后方可进入炉内,以防止水分,污物进入炉内。
5,各传动件发现卡位、限位不准及控制失灵等现象时,应立即排除,不要强行操作,以免损坏机件。
6,机械传动件按一般设备要求定期加油或换油。
7,真空泵,阀门,测量仪器,热工仪表及电器元件等配套件,均应按照产品技术说明书进行使用,维修和保养。
8,维修操作应在停电情况下进行,在带电情况下进行维修工作时,必须保证操作人员,维修人员及设备绝对安全。

真空炉(图片源自深圳中达强)

真空陶瓷发黑炉(图片源自深圳中达强)