一，常用维修方法
首先，按照PLC程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约1-2 min），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空。
其次，按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
二，保养步骤
1，炉内有灰尘或不干净时，应用乙醇或者汽油浸湿过的绸布擦拭干净，并使其干燥。
2，炉体上的密封结构、真空系统等零件部拆装时，应用乙醇或汽油清洗干净，并经过干燥后涂上真空油脂再组装上。
3，炉子外表应经常擦拭，保持清洁干净。
4，工件，料筐，工件车等需清洗干燥后方可进入炉内，以防止水分，污物进入炉内。
5，各传动件发现卡位、限位不准及控制失灵等现象时，应立即排除，不要强行操作，以免损坏机件。
6，机械传动件按一般设备要求定期加油或换油。
7，真空泵，阀门，测量仪器，热工仪表及电器元件等配套件，均应按照产品技术说明书进行使用，维修和保养。
8，维修操作应在停电情况下进行，在带电情况下进行维修工作时，必须保证操作人员，维修人员及设备绝对安全。
真空炉（图片源自深圳中达强）
真空陶瓷发黑炉（图片源自深圳中达强）
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